Электронно-лучевую обработку применяют для изготовления деталей из твердых сплавов, титана, вольфрама, кварца и других труднообрабатываемых материалов. Этим методом можно получать отверстия диаметром 1…10 мкм, прорезать фасонные пазы и щели, резать металл, обрабатывать часовые камни, сопла для прядения и др. Скорость съема материала на черновых режимах составляет 20…30 мм3/мин, на чистовых – 1…2 мм3/мин; точность обработки находится в пределах 5…20 мкм; параметр шероховатости поверхности Rа=3,2…0,8 мкм.

Основными недостатками этого метода обработки являются необходимость защиты от рентгеновского излучения, относительно высокая стоимость и сложность оборудования и необходимость применения глубокого вакуума.