Производительность процесса ультразвуковой обработки зависит от размеров обрабатываемого отверстия, амплитуды и частоты колебаний инструмента, размера абразивных зерен, концентрации суспензии, а также механических свойств материала обрабатываемой заготовки. Наиболее эффективно обрабатываются хрупкие материалы (стекло, керамика, драгоценные минералы и др.). Хуже обрабатываются мягкие углеродистые и легированные стали, так как при этом процесс обработки сопровождается микропластическими деформациями. Скорость обработки твердых сплавов составляет 0,3…0,5 мм/мин, закаленной стали – 0,05…0,10 мм/мин, стекла и керамики – 2…15 мм/мин. Отклонение диаметра сквозных отверстий, как правило, не превышает 0,01…0,02 мм.

Использование мелких абразивных зерен и небольшой амплитуды (около 0,05 мм) позволяет получать детали высокой точности и с высоким качеством обработанной поверхности. Увеличение размера зерна абразива повышает производительность процесса, но снижает точность обработки и повышает шероховатость поверхности.

На практике ультразвук широко применяют также для очистки деталей от жировых и механических загрязнений, продуктов коррозии, лакокрасочных покрытий и т.п.